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MX51半導(dǎo)體檢查顯微鏡———慧龍環(huán)科010-59483667
MX51半導(dǎo)體檢查顯微鏡能對應(yīng)150 mm晶圓／FPD玻璃基板的手動操作型號（反射透射兼用）
對應(yīng)從明視場觀察到熒光觀察的多種觀察方法。MX51半導(dǎo)體檢查顯微鏡高度的擴展性能可以對應(yīng)不同的樣品，性價比優(yōu)異。
MX51半導(dǎo)體檢查顯微鏡詳細參數(shù):
光學系統(tǒng)
UIS2光學系統(tǒng)（無限遠校正）
機身
觀察方法
明視場/暗視場/微分干涉/簡易偏振光/熒光
反射/透射
照明裝置
明暗視場反射照明管（明視場/暗視場/微分干涉/簡易偏振光） 通用反射照明管（明視場/暗視場/微分干涉/簡易偏振光/熒光）
照明系統(tǒng)
反射照明
100 W鹵素/100 W水銀/75 W氙
透射照明
纖維光導(dǎo)
對焦單元
電動/手動
手動
行程
32 mm
分辨率/微調(diào)靈敏度
微調(diào)旋鈕轉(zhuǎn)動1周移動0.1 mm
大樣本高度
30 mm
物鏡轉(zhuǎn)換器
電動型
明視場微分干涉6孔 明暗視場微分干涉5孔 明暗視場微分干涉中心輸出5孔 明暗視場微分干涉6孔
手動式
明視場5孔 明視場微分干涉6孔 明視場微分干涉中心輸出6孔 明視場微分干涉7孔 明暗視場5孔 明暗視場微分干涉5孔 明暗視場微分干涉中心輸出5孔 明暗視場微分干涉6孔
載物臺
6×6 英寸右下手柄：158（X）×158（Y）mm （透射照明范圍100×100 mm） 4×4 英寸右下（左下）手柄：100（X）×105（Y）mm （透射照明范圍96×96 mm）
觀察筒
廣角視場（視場數(shù)22）
倒置
雙目/三目觀察筒
正像
三目觀察筒
超寬視場（視場數(shù)26.5）
傾斜三目觀察筒
附件單元
DUV單元/IR單元/自動裝載
外形尺寸
430（W）×591（D）×495（H）mm（標準組合）
重量
26 kg（標準組合）
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